ルネサス、半導体製造のクリーンルーム再開 火災から1カ月以内の再開目指す

火災が起きたルネサスエレクトロニクスの那珂工場=茨城県ひたちなか市(同社提供)
火災が起きたルネサスエレクトロニクスの那珂工場=茨城県ひたちなか市(同社提供)

 半導体大手、ルネサスエレクトロニクスは10日、火災が起きた那珂工場(茨城県ひたちなか市)で半導体製造に使うクリーンルームの運転を再開したと発表した。3月19日の火災から1カ月以内の生産再開を目指すとした目標の達成に向け態勢を整えた。今後は新たな半導体製造装置のルーム内への搬入が必要で、装置の調達を急ぐ。

 生産が目標通りの時期に再開しても、火災前の出荷水準に戻るにはさらに時間がかかる見通し。

 ルームは4月9日午後9時ごろに運転を再開。火災によるガスなどの発生で被害を受けたが、ルーム内の清掃やエアフィルターの交換などを実施し、半導体製造に必要となる清浄な環境を取り戻した。取引先など1日当たり最大約1600人の支援が入ったという。

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